日本USHIO牛尾顯影、蝕刻裝置DeveloperEtching
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產(chǎn)品名稱: 日本USHIO牛尾顯影、蝕刻裝置DeveloperEtching
產(chǎn)品型號: ED-3000
產(chǎn)品展商: 日本USHIO牛尾
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
日本USHIO牛尾顯影、蝕刻裝置DeveloperEtching 日本USHIO牛尾顯影、蝕刻裝置DeveloperEtching
日本USHIO牛尾顯影、蝕刻裝置DeveloperEtching
的詳細(xì)介紹
腔室:SUS（氯乙烯）制
轉(zhuǎn)速:0～3,000rpm
基板尺寸:Φ1 Inch～Φ12 Inch
（220×220mm）
互鎖:真空吸附確認(rèn)傳感器
腔室外蓋互鎖
噴嘴移動(dòng)越位限制器
藥液壓力推送:加壓泵壓力推送式
藥液送出:噴灑式送出
（擺動(dòng)噴嘴式）
電源:AC 200V 3相 15A
步驟數(shù)目:48步
帶有跳過、復(fù)制功能
尺寸:720W×500H（910H）×520D
（mm/閥門打開時(shí)）
編程模式:10種模式
重量:60kg
工藝工序:顯影液：1系統(tǒng)（2噴嘴）
（標(biāo)準(zhǔn)） 沖洗：1系統(tǒng)（2噴嘴）
后沖洗：1系統(tǒng)
主要可選項(xiàng):藥液溫度管理系統(tǒng)
（加壓方式）
各種基板架
設(shè)置用工作臺(tái)
使用藥液:酸性顯影液
