日本USHIO牛尾光刻機(jī)電子零件用各種曝光裝置四川成都優(yōu)勢供應(yīng)
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產(chǎn)品名稱: 日本USHIO牛尾光刻機(jī)電子零件用各種曝光裝置四川成都優(yōu)勢供應(yīng)
產(chǎn)品型號(hào):
產(chǎn)品展商: 日本USHIO牛尾
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
日本USHIO牛尾光刻機(jī)電子零件用各種曝光裝置四川成都優(yōu)勢供應(yīng)
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的詳細(xì)介紹
運(yùn)用USHIO的光源?照明?光學(xué)?校正及搬運(yùn)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)高性能、高生產(chǎn)性、及低成本的電子零件用曝光裝置。
具有適用于解析力3umL/S～20umL/S、及曝光區(qū)域φ100～300mm的各種類型（單面/雙面、全部/部分等）。
特征
?光罩無損害
采用光罩與工作件非接觸的「投影曝光方式」。
遮罩是半長久使用，因此降低運(yùn)轉(zhuǎn)成本、防止接線缺陷、并提高良品率。
?獨(dú)特的回路比對(duì)方式校正
應(yīng)用影像處理技術(shù)，以依回路比對(duì)方式的獨(dú)特校正機(jī)構(gòu)。
無須專用的校正記號(hào)，可依各種工作條件執(zhí)行高**度校正。
?較深的焦點(diǎn)焦度
通過焦點(diǎn)深度較深（±50～100μm）的投影鏡片，
即使是有高低差異的基板或厚膜電阻，亦能執(zhí)行銳利的類型描繪之曝光。
?適用各種作產(chǎn)品
硅晶圓、印刷基本、滾筒及玻璃基板，適用工作與應(yīng)用軟件的搬運(yùn)系統(tǒng)。
主要用途
?石英振蕩子
?感應(yīng)裝置
?半導(dǎo)體與雙向矽控整流器
?電子回路基板（FPC、MCM等）
?列印頭光學(xué)元件
?電阻與開關(guān)
?材料開發(fā)等的實(shí)驗(yàn)用等
