日本USHIO牛尾顯影、蝕刻裝置DeveloperEtching AD-3000四川成都優(yōu)勢供應(yīng)
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產(chǎn)品名稱: 日本USHIO牛尾顯影、蝕刻裝置DeveloperEtching AD-3000四川成都優(yōu)勢供應(yīng)
產(chǎn)品型號: AD-3000
產(chǎn)品展商: 日本USHIO牛尾
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簡單介紹
日本USHIO牛尾顯影、蝕刻裝置DeveloperEtching AD-3000四川成都優(yōu)勢供應(yīng) 日本USHIO牛尾顯影、蝕刻裝置DeveloperEtching AD-3000四川成都優(yōu)勢供應(yīng)
日本USHIO牛尾顯影、蝕刻裝置DeveloperEtching AD-3000四川成都優(yōu)勢供應(yīng)
的詳細(xì)介紹
腔室： 不銹鋼制
轉(zhuǎn)速： 0～3,000rpm
基板尺寸：Φ1 Inch～Φ12 Inch
（220×220mm）
互鎖： 真空吸附確認(rèn)傳感器
腔室外蓋互鎖
噴嘴移動(dòng)越位限制器
藥液壓力推送：加壓泵壓力推送式
藥液送出：噴灑式送出
（擺動(dòng)噴嘴式）
電源： AC200V 3相 15A
步驟數(shù)目：48步
帶有跳過、復(fù)制功能
尺寸：720W×500H（910H）×520D
（mm/閥門打開時(shí)）
編程模式：10種模式
重量：60kg
工藝工序（標(biāo)準(zhǔn)）：顯影液：1系統(tǒng)（2噴嘴）
沖洗：1系統(tǒng)（2噴嘴）
后沖洗：1系統(tǒng)
主要可選項(xiàng)：藥液溫度管理系統(tǒng)
（加壓方式）
各種基板架
設(shè)置用工作臺
使用藥液：堿性顯影液
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