日本USHIO牛尾固化機紫外線光阻劑硬化/CHARGE ERASE裝置「UNIHARD」四川成都優(yōu)勢供應

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產品名稱: 日本USHIO牛尾固化機紫外線光阻劑硬化/CHARGE ERASE裝置「UNIHARD」四川成都優(yōu)勢供應

產品型號: UNIHARD

產品展商: 日本USHIO牛尾

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簡單介紹

日本USHIO牛尾固化機紫外線光阻劑硬化/CHARGE ERASE裝置「UNIHARD」四川成都優(yōu)勢供應日本USHIO牛尾固化機紫外線光阻劑硬化/CHARGE ERASE裝置「UNIHARD」四川成都優(yōu)勢供應

日本USHIO牛尾固化機紫外線光阻劑硬化/CHARGE ERASE裝置「UNIHARD」四川成都優(yōu)勢供應 的詳細介紹

紫外線照射裝置，在LSI制造生產聯(lián)機使用的紫外線阻劑固化、及電荷消除裝置。

配備超高壓UV燈與EXCIMER燈，應用在提升乾蝕刻時的耐電漿性、離子注入時的阻劑脫氣與燒制、電荷消除、疲乏消除、及 Low-k Cure等各種用途。

特征

?高照度、均一度照射
初期照度是650mw/cm2以上（220～320nm）、且照度均勻度保證在±10%。
?采用依據(jù)SEMI規(guī)定之裝載接口的EFEM（φ12寸裝置）
φ12寸用裝置、采用裝載接口(依據(jù)SEMI) 的EFEM、
以及搬運系統(tǒng) 采用無塵快速的2Finger搬運機器人、以達到高Throughput。
?采用WindowsNT PC的高操作性與以GEM300為準（φ12寸裝置）
φ12寸用裝置采用Windows NT PC，達到極佳的操作性。亦符合GEM300規(guī)定。
?燈管裝置更換容易
燈管更換時無須調整，并降低裝置的停機時間。
?配備照度一定方式與積累計算曝光方式（φ12寸裝置：選購配備）
使用照度一定方式、并積累計算曝光方式、達到制程的穩(wěn)定化與一致化。
?豐富的產品系列
對應φ6寸用裝置（可與φ5寸以下共用）、φ8寸用裝置（可與φ6寸以下共用）、
以及φ12寸專用裝置等所有工具匣。此外，亦備有準分子(Excimer)燈的φ8寸用裝置。