日本KONSEI近藤WHA-200AS葉片型晶圓卡爪
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產(chǎn)品名稱: 日本KONSEI近藤WHA-200AS葉片型晶圓卡爪
產(chǎn)品型號(hào): WHA-200AS
產(chǎn)品展商: 日本近藤KONSEI
產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
以下為日本KONSEI近藤WHA-200AS葉片型晶圓卡爪特點(diǎn)：
根據(jù)客戶的式樣制作設(shè)計(jì)制作。實(shí)際經(jīng)驗(yàn)豐富，請(qǐng)先向您咨詢。邊緣夾緊，不接觸表面。
■固定載波
適合所有搬送的事，可以對(duì)應(yīng)所有的搬的姿勢(shì)。防止裝置的高速化防止筆芯。
■晶圓表里非接觸
只有邊緣接觸，一點(diǎn)不擔(dān)心伴隨著和吸附伴隨的觸控。
■清潔度班1對(duì)應(yīng)
■WHA系列
側(cè)臂側(cè)側(cè)驅(qū)動(dòng)
以上為日本KONSEI近藤WHA-200AS葉片型晶圓卡爪的特點(diǎn)介紹
日本KONSEI近藤WHA-200AS葉片型晶圓卡爪
的詳細(xì)介紹
以下為日本KONSEI近藤WHA-200AS葉片型晶圓卡爪特點(diǎn)：
根據(jù)客戶的式樣制作設(shè)計(jì)制作。實(shí)際經(jīng)驗(yàn)豐富，請(qǐng)先向您咨詢。邊緣夾緊，不接觸表里方面。
■固定載波
請(qǐng)給所有搬送的事，可以對(duì)應(yīng)所有的搬的姿勢(shì)。防止裝置的高速化防止筆芯。
■晶圓表里非接觸
只有邊緣接觸，有一點(diǎn)不擔(dān)心伴隨著和吸附伴隨的觸控。
■清潔度班1對(duì)應(yīng)
■WHA系列
側(cè)臂側(cè)側(cè)驅(qū)動(dòng)
以上為日本KONSEI近藤WHA-200AS葉片型晶圓卡爪的特點(diǎn)介紹
お客様のご仕様に合わせて設(shè)計(jì)製作します。実績(jī)豊富、まずはお問(wèn)い合わせください。エッジクランプだから表裏面に接觸しません。
■固定搬送
クランプして搬送することで、あらゆる搬送姿勢(shì)に対応可能です。裝置の高速化に伴う芯ズレを防止します。
■ ウエハ表裏に対して非接觸
エッジのみに接觸し、クランプ?吸著搬送に伴うパッド痕の心配がありません。
■ クリーン度クラス1対応
■WHA シリーズ
サイドアームのみの片側(cè)駆動(dòng)式エッジクランプ
以下為日本KONSEI近藤WHA-200AS葉片型晶圓卡爪的參數(shù)：
仕様
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型式
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ＷＨＡ-200ＡＳ
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ＷＨＡ-300ＡＳ
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ＷＨＡ-450ＡＳ
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搬送ワーク
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ウエハ
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ワークサイズ
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φ200
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φ300
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φ450
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搬送方式
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エッジクランプ
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搬送枚數(shù)
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１枚
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駆動(dòng)方式
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閉方向
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スプリング（クランプ方式）
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開(kāi)方向
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バーキューム圧－60KPa ～95KPa （負(fù)圧シリンダ採(cǎi)用）
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動(dòng)作ストローク
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10 ㎜ （クランプ7㎜ クランプシロ3㎜）
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把持力
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２ ．４Ｎ ～１．９Ｎ
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約７N
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クリーン度
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FED 規(guī)格 クラス１ （吸引要）
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フォーク材質(zhì)
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ＣＦＲＰ
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駒?仮受け座?パット
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ＰＥＥＫ
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本體重量
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約0.4Kg
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約0.5Kg
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約1.7Kg
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オプション
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開(kāi)閉確認(rèn)センサー
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