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產(chǎn)品資料

成都西野供應(yīng):ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍

如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱: 成都西野供應(yīng):ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍
產(chǎn)品型號: EGK-3
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

成都西野供應(yīng):日本ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍


成都西野供應(yīng):ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍  的詳細介紹

金屬膜用EB槍

EGK系列

EGK-3

ULVAC

EGK-3 電子束蒸發(fā)器是基于 ULVAC 多年積累和成熟的技術(shù)在性能和可靠性方面的改進。
該蒸發(fā)源有一個*大輸入功率為 5 kW 的爐膛。
坩堝容量為3cc,適合實驗和小規(guī)模生產(chǎn)。

特征

  • 采用容量為3cc的爐缸,適合小規(guī)模生產(chǎn)。
  • 由于電子束被電磁場偏轉(zhuǎn),二次電子對蒸鍍材料的影響極小。
  • 即使是升華物質(zhì),通過在X軸和Y軸方向掃描束斑,也可以消除局部挖坑現(xiàn)象,使整個坩堝順利蒸發(fā)。(擁有日本磚利 831485 和 843447)
  • 電子束偏轉(zhuǎn)225°,因此不會暴露在蒸發(fā)材料的蒸汽中,燈絲壽命長。
  • 由于發(fā)射器組件可以很容易地安裝和拆卸,因此很容易更換燈絲和絕緣體。

規(guī)格

加速電壓 -4kV 至 -10kV 直流
束流 *大 0.5A(-10kV 時)
*大輸入 5kW(-10kV,0.5A)
X軸偏轉(zhuǎn)線圈 0.4~3.5A -18VDCmax 
22Ω (20℃)
燈絲 0-6V 交流 40Amax
體積 2.6cc
尺寸 21Φ×15.6Φ×10H
光束偏轉(zhuǎn)角 225°
有效蒸發(fā)角 90°以上
沉積率 鋁 5kW at 0.5μm/min 或更高
(在 Haas 正上方 250H)
冷卻水量 哈斯 8L/min以上0.7MPa(*大壓力)
線圈 1L/min以上0.7MPa(*大壓力)
水溫 15-25℃
外形尺寸 110W x 126H x 207D
大量的 約4公斤
適用電源 HPS-510S、HPS-1000N、HPS-1600F
評論 建議冷卻水的電阻率為 5 kΩ·cm 或更高。
Y軸偏轉(zhuǎn)線圈 0 至 ± 1.2A ± 12VDVmax
(選項) 1.8Ω(20℃)
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