特征

• 采用大容量 110cc 4 點開關(guān)式爐床，可大量沉積多層膜。
• 由于電子束被電磁場偏轉(zhuǎn)，二次電子對沉積材料的影響極小。
• 通過掃描 X 軸和 Y 軸上的光束點，即使是為了凈化物質(zhì)，也可以消除挖掘現(xiàn)象，并且可以順利進行蒸發(fā)。（歸日本 831485、843447 所有）
• 由于電子束的270°偏轉(zhuǎn)，它不會暴露在蒸發(fā)材料的蒸汽中，燈絲壽命長。
• 由于燈絲座可以很容易地安裝和拆卸，因此很容易更換燈絲和絕緣體。
• 采用水冷式電磁線圈，可在高溫環(huán)境下連續(xù)運行。
• 可選裝爐床位置檢測機構(gòu)，可實現(xiàn)爐床旋轉(zhuǎn)自動化。