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產(chǎn)品名稱: ULVAC愛(ài)發(fā)科高速光譜橢偏儀
產(chǎn)品型號(hào): UNECS-2000A
產(chǎn)品展商: ULVAC愛(ài)發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
成都西野供應(yīng)：ULVAC愛(ài)發(fā)科高速光譜橢偏儀UNECS-2000A
ULVAC愛(ài)發(fā)科高速光譜橢偏儀
的詳細(xì)介紹
自動(dòng)型
UNECS系列
UNECS-2000A
ULVAC
可映射測(cè)量的自動(dòng)載物臺(tái)類型
UNECS系列是一種光譜橢偏儀，可以高速、高精度地測(cè)量薄膜的膜厚和折射率。
采用獨(dú)特的測(cè)量方法，實(shí)現(xiàn)高速測(cè)量和緊湊性。
根據(jù)用途，我們有廣泛的產(chǎn)品陣容，從獨(dú)特的便攜型到自動(dòng)平臺(tái)型和支持真空環(huán)境的內(nèi)置型設(shè)備。
UNECS-1500A / 2000A / 3000A 使用自動(dòng) R-θ 載物臺(tái)和自動(dòng)對(duì)焦功能，可快速自動(dòng)測(cè)量基材表面的膜厚分布，并以彩色 圖顯示結(jié)果。
特征
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高速測(cè)量：
采用獨(dú)特的快照方式，實(shí)現(xiàn)了高達(dá)20ms的高速測(cè)量。
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可見(jiàn)光譜兼容：
波長(zhǎng)范圍可選擇標(biāo)準(zhǔn)型（530nm至750nm）和可見(jiàn)光譜型（380nm至760nm）。
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緊湊型傳感器單元：
發(fā)光傳感器非常輕巧緊湊，因?yàn)樗鼉H由沒(méi)有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的光學(xué)元件組成，并且不需要定期維護(hù)。
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豐富的產(chǎn)品陣容：
擁有獨(dú)特的便攜型、手動(dòng)/自動(dòng)平臺(tái)型、大型板型以及支持大氣/真空環(huán)境的內(nèi)置型設(shè)備等各種應(yīng)用的產(chǎn)品陣容。
采用
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透明或半透明薄膜（氧化膜、氮化膜、抗蝕劑、ITO等）的膜厚、折射率、消光系數(shù)的測(cè)量
