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產(chǎn)品名稱: 成都西野：ULVAC愛發(fā)科氣體分析儀
產(chǎn)品型號(hào): CGM2-051
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
成都西野：ULVAC愛發(fā)科氣體分析儀CGM2-051
成都西野：ULVAC愛發(fā)科氣體分析儀
的詳細(xì)介紹
高壓工藝（濺射工藝）
Qulee CGM2系列
CGM2-051
ULVAC
ULVAC 的新型殘余氣體分析儀/工藝氣體監(jiān)測(cè)儀 (RGA)，可在高壓（1 Pa 或更小）下實(shí)現(xiàn)高精度和高分辨率，具有簡(jiǎn)單性和易用性。
引入過(guò)程監(jiān)視器的新標(biāo)準(zhǔn)，體現(xiàn)各種生產(chǎn)線上的設(shè)備工程師的聲音。
濺射設(shè)備的過(guò)程控制（質(zhì)量改進(jìn)、良率改進(jìn)）的理想選擇。
特征
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濺射工藝的理想選擇
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顯示一體化設(shè)計(jì)：無(wú)需個(gè)人電腦即可測(cè)量
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操作簡(jiǎn)單——一鍵式功能......任何人都可以輕松操作，無(wú)需復(fù)雜的操作
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過(guò)程監(jiān)控?zé)o需差動(dòng)排氣系統(tǒng)...可測(cè)量1Pa以下，可節(jié)省空間
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泄漏測(cè)試功能的增強(qiáng)
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總壓力測(cè)量是可能的
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Qulee QCS 軟件是標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
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兼容 CE 標(biāo)準(zhǔn)
采用
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用于濺射設(shè)備的殘留氣體分析、過(guò)程監(jiān)控和雜質(zhì) (H 2 O) 管理
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用于濺射設(shè)備的泄漏測(cè)試
規(guī)格
解決
M / △ M = 1M (10% PH)
