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產(chǎn)品資料

成都西野供應(yīng):ULVAC愛發(fā)科低溫泵

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產(chǎn)品名稱: 成都西野供應(yīng):ULVAC愛發(fā)科低溫泵
產(chǎn)品型號(hào): 低溫-U4H
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

ULVAC Cryo已應(yīng)用于電子、光學(xué)、太陽(yáng)能、聚變、航天開發(fā)等多個(gè)領(lǐng)域,并積累了良好的業(yè)績(jī)。


成都西野供應(yīng):ULVAC愛發(fā)科低溫泵  的詳細(xì)介紹

低溫泵

CRYO-U系列

低溫-U4H

阿爾巴克低溫

ULVAC Cryo已應(yīng)用于電子、光學(xué)、太陽(yáng)能、聚變、航天開發(fā)等多個(gè)領(lǐng)域,并積累了良好的業(yè)績(jī)。

特征

  • 使用 4 英寸低溫泵展示*佳排氣特性。
  • 高排氣速度有助于提高排氣效率和生產(chǎn)率。
  • 特別適用于半導(dǎo)體制造設(shè)備和小型設(shè)備的濺射工藝。
  • 一臺(tái)壓縮機(jī)*多可以運(yùn)行 4 臺(tái)泵。
  • 可根據(jù)使用目的設(shè)計(jì)制造。

外形尺寸(單位:mm)

u4h.gif

規(guī)格

排氣速度(20℃) 升/秒 450
500
氬氣 370
1,100
達(dá)到壓力 10 -7
*大流量 氬氣 帕·升/秒 1.3 × 10 3
排氣量 氬氣 帕·L 1.0 × 10 7
1.5×10 5
冷卻下降時(shí)間 分鐘 (50 / 60Hz) 45/50
大量的 公斤 14.5
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