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產(chǎn)品資料

成都西野供應(yīng):ULVAC愛發(fā)科飛濺離子泵

如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱: 成都西野供應(yīng):ULVAC愛發(fā)科飛濺離子泵
產(chǎn)品型號: PST-400CXII / AXIII
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

利用濺射活性鈦的吸氣作用的超高真空泵(actor pump)。


成都西野供應(yīng):ULVAC愛發(fā)科飛濺離子泵  的詳細介紹

飛濺離子泵

PST系列

PST-400CXII / AXIII

ULVAC

利用濺射活性鈦的吸氣作用的超高真空泵(actor pump)。

特征

  • 兼容極高的真空度。使用 ISO 標準測試圓頂實現(xiàn)10-10 Pa的極限壓力。
  • 惰性氣體排氣強化型(AX2型)的排氣性能是氬氣的2倍。(與我們公司相比)
  • 在超高真空范圍內(nèi)實現(xiàn)較大的排氣速度。
  • 短時間內(nèi)排到超高真空區(qū)。
  • 在極高真空區(qū)具有出色的啟動特性。(放電持續(xù)到超高真空區(qū))

采用

  • 加速器
  • 電子顯微鏡
  • 電子束光刻系統(tǒng)
  • 不喜歡振動的分析裝置
  • 使用超高真空環(huán)境等

規(guī)格

排氣速度(再生排氣速度)
1×10 -7 Pa
2 : 0.36m 3 / s (CX2 / AX2)
阿爾: 0.04m 3 / s (CX2) 
0.19m 3 / s (AX2)
達到壓力 10 -10帕單位
運營壓力 <3.0 × 10 -3 Pa (推薦值) 
(*大使用壓力1 × 10 -3 Pa) 
*使用GST-07L控制器時
內(nèi)部容積 約0.014m 3
泵元件數(shù)量 CX2 型電池 x 4 型、AX2 型電池 x 4 型
連接法蘭型號 UFC203
外加電壓 直流+7.5kV
標準烘烤溫度 250℃
大量的 約 124 kg(帶加熱器)
外形尺寸 W × D × H 296 x 544 x 376 毫米
加熱器單元所需功率 單相200V 約800W

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