成都西野：ULVAC愛發(fā)科渦輪分子泵

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產(chǎn)品名稱: 成都西野：ULVAC愛發(fā)科渦輪分子泵

產(chǎn)品型號(hào): UTM-B系列UTM70B

產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科

產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

ULVAC 使用陶瓷球軸承的復(fù)合葉片式渦輪分子泵。通過集成控制器和泵實(shí)現(xiàn)節(jié)省空間。

成都西野：ULVAC愛發(fā)科渦輪分子泵 的詳細(xì)介紹

渦輪分子泵

UTM-B系列

UTM-B

ULVAC

使用陶瓷球軸承的復(fù)合葉片式渦輪分子泵。
通過集成控制器和泵實(shí)現(xiàn)節(jié)省空間。
優(yōu)異的高背壓特性使輔助泵的小型化成為可能。

特征

安裝方向自由
由于沒有安裝方向的限制，因此擴(kuò)大了設(shè)備設(shè)計(jì)的自由度。
由于搭載車載
控制器的控制器安裝在渦輪主體上，因此對(duì)節(jié)省布線和排氣系統(tǒng)的小型化很有效。
輔助泵可以小型化，因?yàn)樗哂?/span>高壓縮比和高排氣壓力壓縮比，并且可以在高背壓下運(yùn)行。
三種類型的法蘭可供選擇
VG、ICF 和 ISO-K 三種類型的進(jìn)氣法蘭可供選擇。
它的設(shè)計(jì)旨在減少碳?xì)浠衔锏幕亓?，不僅在清潔真空操作期間，而且在泵停止時(shí)也是如此。

利用

分析儀、研發(fā)設(shè)備、實(shí)驗(yàn)設(shè)備等主要排氣系統(tǒng)。
蒸鍍設(shè)備、濺射設(shè)備等的主排氣系統(tǒng)。
H2、He等輕質(zhì)氣體的主排氣系統(tǒng)

規(guī)格

模型				UTM70B		UTM300B
泵	冷卻方式			自然風(fēng)冷	強(qiáng)制風(fēng)冷	自然風(fēng)冷	強(qiáng)制風(fēng)冷
	法蘭口徑		進(jìn)氣口 * 1	VG65、ICF114、ISO063-K		VG100、ICF152、ISO100-K
			排氣口	KF16		KF16
	排氣速度（不帶防護(hù)網(wǎng)）		氮₂	70升/秒		280升/秒
			他	60升/秒		270升/秒
			H ₂	49升/秒		220升/秒
	極限壓力 *2	烘烤后		-* 3	10 ^-8帕	-* 3	10 ^-8帕
		烘烤前		10 ^-6帕		10 ^-6帕	10 ^-6帕
	*大壓縮比			N2:> 1 × 10 ⁹ , He: 4 × 10 ⁷ , H2: 4 × 10 ⁵		N2：> 1 × 10 ⁹ , He: 7 × 10 ^6, H2: 1 × 10 ⁵
	大進(jìn)氣壓力 4、5、6		氮₂	0.43Pa	1.1Pa	0.06Pa	0.7Pa
	大排氣口壓力 4、5、7		氮₂	300Pa	900Pa	100Pa	1000Pa
	連續(xù)運(yùn)行大流量 8	無氣體吹掃	氮₂	15sccm * 9	40sccm * 9	10 厘米 * 10	100 立方厘米 * 10
		無氣體吹掃	氬	――――	10 厘米 * 9	――――	30sccm * 10
		帶氣體吹掃		――――	15sccm * 9	――――	40sccm * 10
	推薦輔助泵（10SCCM吸入時(shí)）*11			60L/min以上		120L/min以上
	大量的			VG：3.3kg，ISF：3.0kg，ISO：5.0kg		6.0kg / 9.0kg	6.3公斤/9.3公斤
	旋轉(zhuǎn)速度			87000轉(zhuǎn)		60000轉(zhuǎn)
	啟動(dòng)時(shí)間（*高80%）（DC24V背壓5Pa以下時(shí)）			1.7 分鐘		3.5 分鐘
	表面處理*12			沒有任何
	安裝方向			每個(gè)方向
	噪音 * 13			48dB (A) 或更低		50 分貝 (A) 或更低
電源規(guī)格	輸入電源			DC24V±5%, 120W		DC24V±5%, 180W
	接點(diǎn)輸入/輸出			REMOTE（D-sub 15針公頭）數(shù)字輸入/輸出4點(diǎn)，模擬輸出1點(diǎn)
	串行通信			RS-485（D-sub 15 針公頭，與 REMOTE 共用）
	LED顯示屏			電源、正常、報(bào)警
	轉(zhuǎn)變			開始/停止，復(fù)位
	可變轉(zhuǎn)速			轉(zhuǎn)速可在指定泵數(shù)的 25% 和 100% 之間改變（設(shè)置以 0.1% 為單位）。
	異常檢測			檢測警報(bào)和警告
	保護(hù)措施			顯示警報(bào)和警告
標(biāo)準(zhǔn)配件				使用說明書（CD-R）、保護(hù)網(wǎng)（僅限 VG、ICF。ISO 法蘭內(nèi)置于墊片中）、墊片（進(jìn)氣口用）、防塵蓋（進(jìn)氣口、排氣口、連接器用）各 1 個(gè)
適用標(biāo)準(zhǔn)				CE, TUVus

* 1	訂貨時(shí)請(qǐng)選擇進(jìn)氣法蘭。
* 2	使用二級(jí)輔助泵時(shí)
* 3	只有在對(duì) ICF 法蘭使用強(qiáng)制風(fēng)冷時(shí)才能進(jìn)行烘烤。
*四個(gè)	這是環(huán)境溫度為 25°C 時(shí)的值。允許值隨環(huán)境溫度變化而變化。
*五	大進(jìn)氣口壓力和大排氣口壓力不能同時(shí)滿足。
* 6	允許連續(xù)排氣的*大進(jìn)氣口壓力。
* 7	當(dāng)來自進(jìn)氣口的廢氣流量為0 sccm時(shí)，排氣口可連續(xù)工作的*大壓力。
* 8	這是環(huán)境溫度為 5 至 25°C 時(shí)的值。請(qǐng)使用N _{2氣體 25sccm 進(jìn)**體吹掃。}
* 9	這是使用輔助泵60L/min時(shí)的值。
*十	這是使用輔助泵120L/min時(shí)的數(shù)值。
* 11	如果氣體量大，選擇輔助泵，使排氣口壓力低于*大排氣口壓力。
* 12	請(qǐng)勿讓反應(yīng)性氣體、腐蝕性氣體或含 Ga 氣體流動(dòng)。請(qǐng)與我們聯(lián)系以獲取其他信息。
*13	ISO法蘭型。根據(jù)我們的測量方法。