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產品資料

ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵

如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵
產品型號: LR300
產品展商: ULVAC愛發(fā)科
產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

多級羅茨干式真空泵 LR系列 通過將泵體的熱量吸收在低溫區(qū)域，它是*適用于準備取出室排氣的泵過程。


ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵  的詳細介紹

多級羅茨干式真空泵

LR系列

LR

ULVAC

通過將泵體的熱量吸收在低溫區(qū)域，它是*適用于準備取出室排氣的泵過程。

特征


  • 除了低溫區(qū)域的熱化（LR 系列） PVD 工藝外，它還非常適用于沖泡和取出室的排氣，其中縮短排氣時間對于提高產量尤其重要。
  • 由于密封結構配備氦氣密封
    罐裝電機，因此非常**。

  • 瞬時停電對策 采取1000msec以內的瞬時停電對策。
  • 優(yōu)異的耐蝕性
    主要部件采用表面硬度高、耐蝕性優(yōu)異的特殊表面處理。排出腐蝕性氣體時減少泵內部的腐蝕。
  • 通訊功能
    可以讀取與泵運行狀態(tài)和警告/警報歷史相關的數(shù)據(jù)。通過使用專用軟件和執(zhí)行計算機通信，可以進行集中監(jiān)控。

利用

  • 成膜設備（濺射設備/蒸鍍設備等）
  • 縮短準備外賣室的排氣時間
  • 作為輔助排氣泵（渦輪分子泵、機械增壓泵的輔助排氣）

規(guī)格

模型 LR60 LR90 LR180 LR421 LR421-T
*大排氣速度 50赫茲 米3 /小時
（升/分鐘） 		62 (1030) 112 (1860) 183 (3100) 440 (7333)
60赫茲 米3 /小時
（升/分鐘） 		80 (1333) 126 (2100) 237 (3950) 440 (7333)
達到壓力 5.0帕
*大進氣壓力（進氣壓力） 氣壓
*大排氣口壓力（排氣壓力） 1Pa ~ 大氣壓
進氣口（CE規(guī)格） VG50 (KF50) VG80 (KF50) VG100
排氣口 KF40 VG50
大量的 公斤 180 245 335 415
電力*1 三相 VAC (赫茲) 200 (50/60), 220 (60) 180 ~ 240/380 ~ 440 (50/60)
當前值 常規(guī)時間 一個 6.9（200V 時） 11.2（200V 時） 18.9（200V 時） 20.8（200V 時）
*大值 一個 7.3（200V 時） 11.8（200V 時） 20.6（200V 時） 48.5（200V 時）
臨時冷卻水壓力 兆帕 0.1～0.3 0.2～0.5
冷卻水進/出口壓差 兆帕 > 0.1 > 0.2
冷卻水流量 升/分鐘 > 5.0 > 4.0
吹掃氣體 初級壓力 兆帕 0.1～0.5
二次壓力 兆帕 0.05 ~ 0.1
N 2吹掃 軸 SLM 五
氣漲 SLM 0 ~ 45 沒有任何 0 ~ 45

* 1 請在訂購時注明。

模型 LR300 LR600 LR1200 LR1800 LR3601 LR3601-T (TT) LR3601-R LR3601-TR (TTR)
使用的泵 DRP LR60 LR90 LR90 LR180 LR421 LR421-T LR421 LR421-T
公安部 PRC-003A PRC-006A PRC-012A 中國-018A PRC-036C PRC-036C (-T) PRC-036D PRC-036D (DT)
*大排氣速度 50赫茲 米3 /小時
（升/分鐘） 		359 
(5,980) 		653 
(10,900) 		1,012 
(16,900) 		1,701 
(28,350) 		3,200 (53,333)
60赫茲 米3 /小時
（升/分鐘） 		365 
(6,080) 		701 
(11,700) 		1,051M 
(17,500) 		1,784 
(29,700) 		3,200 (53,333)
達到壓力 0.67帕
*大進氣壓力（進氣壓力） 氣壓
*大排氣口壓力（排氣壓力） 1Pa ~ 大氣壓
進氣口（CE規(guī)格） VG80 (KF80) VG100 
(KF100) 		VG150 
(KF100) 		VG150
排氣口 KF40 KF50
MBP表面處理 〇 * 2 〇 * 2 〇 * 2 〇 * 2 × T: × 
TT: × 		× TR: × 
TTR: 〇
大量的 公斤 275 370 420 545 660 720 660 720
電力*3 三相 VAC (赫茲) 200 (50/60), 220 (60) 180 ~ 240/380 ~ 440 (50/60)
當前值 常規(guī)時間 一個 7.0 
（200V 時） 		12.3 
（200V 時） 		13.7 
（200V 時） 		21.4 
（200V 時） 		31.0 (200V) 
20.5 (400V) 		35.4 (200V) 
20.5 (400V)
*大值 一個 9.6 
（200V 時） 		19.0 
（200V 時） 		24.2 
（200V 時） 		39.8 
（200V 時） 		58.4 (200V) 
40.5 (400V) 		82.0 (200V) 
40.5 (400V)
臨時冷卻水壓力 兆帕 0.1～0.3 0.2～0.5
冷卻水進/出口壓差 兆帕 > 0.1 0.1～0.3 0.2～0.5
冷卻水流量 升/分鐘 > 5.0 > 4.0
吹掃氣體 初級壓力 兆帕 0.1～0.5
二次壓力 兆帕 0.05 ~ 0.1
N 2吹掃 軸 SLM 五
氣漲 SLM 0 ~ 45 無 * 4 0 ~ 45 無 * 4 0 ~ 45

* LR300、LR600、LR1200、LR1800的2 MBP可選擇帶或不帶表面處理。
* 3 請在訂購時注明。
* 4 可以使用氣體松動的規(guī)格可以根據(jù)應用進行估算。

配飾

■ 消音器

模型 材料 表面
處理 		大量的 連接法蘭 LR 
300 		LR 
600 		LR 
1200 		LR 
1800 		L & 
3601 		LR 
60 		LR 
90 		LR 
180 		LR 
421 		LR 
421-T
RS-01 +
套件 A 		SUS
304 		GBB
處理 		4.1
公斤 		KF40 〇 ―――― ―――― ―――― ―――― 〇 〇 ―――― ―――― ――――
RS-01 +
套件 B 		KF40 ―――― 〇 〇 ―――― ―――― ―――― ―――― ―――― ―――― ――――
RS-02 +
套件 A 		8.3
公斤 		KF40 〇 ―――― ―――― ―――― ―――― ―――― ―――― 〇 ―――― ――――
RS-02 +
套件 B 		KF40 ―――― 〇 〇 〇 ―――― ―――― ―――― ―――― ―――― ――――
RS-03 +
套件 A 		拋光板 12.5
公斤 		KF50 ―――― ―――― ―――― ―――― ―――― ―――― ―――― ―――― 〇 〇
RS-03 +
套件 B 		―――― ―――― ―――― ―――― 〇 ―――― ―――― ―――― ―――― ――――

排氣速度曲線

  • LR60
LR60_curve.png
  • LR90
LR90_curve.png
  • LR180
LR180_curve.png
  • LR421-T
LR421_curve.png
  • LR300 / LR600
LR300_600_curve.png
  • LR1200
LR1200_curve.png
  • LR1800
LR1800_curve.png
  • LR3601 (-R / -TR / -TTR)
LR3601R_TR_TTR_curve.png
  • LR3601 (-T / -TT)
LR3601T_TT_curve.png

尺寸圖

  • LR60
LR60_size_j.png
  • LR90
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  • LR180
LR180_size_j.png
  • LR300
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  • LR421
LR421_size_j.png
  • LR421-T
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  • LR600
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  • LR1200
LR1200_size_j.png
  • LR1800
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  • LR3601
LR3601_size_j.png
  • LR3601-R
LR3601-R_size_j.png
  • LR3601-T
LR3601-T_size_j.png
  • LR3601-TR
LR3601-TR_size_j.png
  • LR3601-TT
LR3601-TT_size_j.png
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