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產品名稱: ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵
產品型號: GR系列GR60A
產品展商: ULVAC愛發(fā)科
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簡單介紹
干式真空泵 GR 系列是在成熟可靠的 LR/HR 系列的基礎上，為一般工業(yè)設計的結構簡單的泵。
ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵
的詳細介紹
多級羅茨干式真空泵
GR系列
GR
ULVAC
干式真空泵 GR 系列是在成熟可靠的 LR/HR 系列的基礎上，為一般工業(yè)設計的結構簡單的泵。
特征
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可用于高負荷應用，例如從大氣到真空的反復排氣和高壓區(qū)域的連續(xù)運行
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非常適合需要高吞吐量的負載鎖定室（準備室和取出室）
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兼容通用感應電機
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可加裝防爆電機等特殊電機（選配）
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使用多電壓兼容電機
利用
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空氣、惰性氣體等清潔氣體的真空排氣
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各種成膜設備上下料室排氣
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真空干燥、真空氣體置換、真空脫泡等一般工業(yè)應用
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真空絕熱、充氣等真空氣體置換
規(guī)格
* 1 極限壓力是氮氣（軸封氣體）為 5.0 SLM 時的值。
* 2 無冷凝。
* 3 這是由調節(jié)器調整的壓力表的值。
* 4 氮氣（軸封氣體）的流量固定為 5.0 SLM。
配飾
排氣曲線
尺寸圖
