ULVAC愛(ài)發(fā)科多級(jí)羅茨干式真空泵

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產(chǎn)品名稱(chēng): ULVAC愛(ài)發(fā)科多級(jí)羅茨干式真空泵

產(chǎn)品型號(hào): UR421-T

產(chǎn)品展商: ULVAC愛(ài)發(fā)科

產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

通過(guò)將熱量浸泡在泵體的高溫區(qū)域，可以將CVD、蝕刻等產(chǎn)生的可升華廢氣以氣態(tài)排出。

ULVAC愛(ài)發(fā)科多級(jí)羅茨干式真空泵 的詳細(xì)介紹

多級(jí)羅茨干式真空泵

HR/UR系列

烏爾

ULVAC

通過(guò)將熱量浸泡在泵體的高溫區(qū)域，可以將CVD、蝕刻等產(chǎn)生的可升華廢氣以氣態(tài)排出。

特征

可以在高溫區(qū)域以氣態(tài)排放通過(guò)熱化CVD、蝕刻等
產(chǎn)生的升華廢氣。
UR 系列可以加熱到比 HR 系列更高的溫度。
由于密封結(jié)構(gòu)配備氦氣密封罐裝電機(jī)，因此非常**。
瞬時(shí)停電對(duì)策：采取
1000msec以?xún)?nèi)的瞬時(shí)停電對(duì)策。
優(yōu)異的耐蝕性
主要部件采用表面硬度高、耐蝕性?xún)?yōu)異的特殊表面處理。排出腐蝕性氣體時(shí)減少泵內(nèi)部的腐蝕。
通訊功能：
可讀取與泵運(yùn)行狀態(tài)和警告/報(bào)警歷史相關(guān)的數(shù)據(jù)。通過(guò)使用專(zhuān)用軟件和執(zhí)行計(jì)算機(jī)通信，可以進(jìn)行集中監(jiān)控。

利用

CVD設(shè)備
蝕刻裝置
灰化裝置
ALD、ALH 等

規(guī)格

模型		UR421-T	UR600	UR1200	UR1800	UR3601-TT
使用的泵	DRP	UR421-T	UR90	UR90	UR180	UR421-T
	MBP	――――	PRC-006A	PRC-012A	中國(guó)-018A	PRC-036C-T
*大排氣速度		410 米³ / 小時(shí) （6833 升 / 分鐘）	653 米³ / 小時(shí) （10883 升 / 分鐘）	1012 米³ / 小時(shí) （16867 升 / 分鐘）	1701 米³ / 小時(shí) （28350 升 / 分鐘）	2700 米³ / 小時(shí) （45000 升 / 分鐘）
達(dá)到壓力		5.0帕
*大進(jìn)氣壓力（進(jìn)氣壓力）		大氣壓^*1
*大排氣口壓力（排氣壓力）		1～大氣壓Pa
進(jìn)氣口（CE規(guī)格）		VG100	VG80 (NW80)	VG100 (NW100)	VG150 (NW100)	VG150
排氣口		VG50	NW40			NW50
大量的		415 公斤	370 公斤	403 公斤	553 公斤	720 公斤
電力	三相	180-240 VAC / 380-440 VAC (50/60 Hz)	200 伏交流電（50/60 赫茲）/220 伏交流電（60 赫茲）			180-240 VAC / 380-440 VAC (50/60 Hz)
當(dāng)前值	常規(guī)時(shí)間	23 A（200V 時(shí)）	16.4 A（200V 時(shí)）	18.9 A（200V 時(shí)）	29.2 A (200V) 20.5 A (400V)	39.8 A（200V 時(shí)） 20.5A（400V 時(shí)）
	*大值	52.5 A（200V 時(shí)）	17.3 A（200V 時(shí)）	22.4 A（200V 時(shí)）	34.9 A（200V 時(shí)） 40.5A（400V 時(shí)）	68.3 A（200V 時(shí)） 40.5A（400V 時(shí)）
臨時(shí)冷卻水壓力		0.2～0.5Mpa	0.1～0.3Mpa			0.2～0.5Mpa
冷卻水進(jìn)/出口壓差		> 0.2 兆帕	> 0.1 兆帕	> 0.1 兆帕	> 0.1 兆帕	> 0.2 兆帕
冷卻水流量		> 5.0升/分鐘
吹掃氣體	初級(jí)壓力	0.1～0.5Mpa
	二次壓力	0.05 ~ 0.1 兆帕
N ₂吹掃	軸	5 SLM
	氣漲	0 ~ 195 SLM	0 ~ 45 SLM		0 ~ 195 SLM	0 ~ 195 SLM