檢測部采用了本公司獨立開發(fā)的稱為「μF傳感器」的熱式流量傳感器，是搭載有上等執(zhí)行器控制技術(shù)的氣體用質(zhì)量流量控制器。 
利用μF傳感器的特長，實現(xiàn)了寬廣流量控制范圍的快速響應(yīng)。 
zui適合應(yīng)用于工廠生產(chǎn)工序的玻璃、釬焊加工的火焰控制等以前的質(zhì)量流量控制器控制困難的低壓供給燃?xì)獾牧髁靠刂啤?nbsp;
豐富的產(chǎn)品種類，擴大了可使用的應(yīng)用范圍。

質(zhì)量流量檢測

與空氣、燃?xì)獾氖褂脺囟?、壓力無關(guān)，可測量換算成標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。 
（* 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量是指在1個大氣壓、0°C（或20°C）時的體積流量。）

寬廣的檢測范圍

相對于zui大測量流量的低流量區(qū)域，一般的氣體流量計都難于檢測，通過搭載μF傳感器，可實現(xiàn)寬廣范圍的測量、控制。實現(xiàn)了質(zhì)量流量計CMS的可調(diào)比100：1、大流量質(zhì)量流量計CML的可調(diào)比160：1（測量范圍為1,280：1）的高可調(diào)比！ 
zui適合于空氣及燃?xì)獾氖褂昧康墓芾?、及?jié)能的漏氣管理。

快速響應(yīng)

細(xì)微、熱容量非常小的MEMS傳感器直接與氣體接觸進行檢測，實現(xiàn)了快速響應(yīng)。

低圧損構(gòu)造

μF傳感器設(shè)置在流路的壁面上，具有低壓力損失的特點。zui適合于低圧氣體流量的檢測、控制。

高精度

μF傳感器隨時間的特性變化非常小，能長期保持高精度。

各種功能

通過控制機器積累的微電腦的技術(shù)，搭載了以前的質(zhì)量流量計沒有的各種功能。 
瞬時／累積流量顯示、燃?xì)夥N類切換功能、上下限報警輸出、模擬輸出、累積脈沖輸出、通信功能等?。? 因產(chǎn)品而異）

種類豐富的產(chǎn)品

根據(jù)使用用途，備有從5mL/min型號到500L/min型號的寬廣流量區(qū)域的產(chǎn)品。

質(zhì)量流量控制器 (型號：MPC)

外觀	主要用途								口徑 (B)		流量量程
	浮子式流量計 (吹流型）的置換								1/8		0.5 L/min ～ 20 L/min
Gas Types	空氣	氮氣	氧氣	氬氣	二氧化碳	城市煤氣	沼氣	丙烷	丁烷	氫氣	氦氣	笑氣
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小型數(shù)字式質(zhì)量流量控制器 (型號：F4H)

外觀	主要用途								口徑 (B)		流量量程
	真空成膜，電子部件燒成，分析裝置								1/4		50 mL/min ～ 20 L/min
Gas Types	空氣	氮氣	氧氣	氬氣	二氧化碳	城市煤氣	沼氣	丙烷	丁烷	氫氣	氦氣	笑氣
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質(zhì)量流量控制器 (型號：MQV)

外觀	主要用途								口徑 (B)		流量量程
	燒嘴的空燃比控制，燃料電池的評價裝置								1/4 1/2		0.2 L/min ～ 1000 L/min
Gas Types	空氣	氮氣	氧氣	氬氣	二氧化碳	城市煤氣	沼氣	丙烷	丁烷	氫氣	氦氣	笑氣
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