MicroFlow的質(zhì)量流量計系列是檢測部采用了本公司獨立開發(fā)的熱式流速傳感器「μF傳感器（Micro Flow Sensor）」的質(zhì)量流量計。 
使用微型機器技術(shù)、把超微細的流速傳感器與上等的流路設(shè)計技術(shù)進行融合，用低價格實現(xiàn)了以前沒有的高精度、寬可調(diào)比。 
適用于生產(chǎn)工序、實驗裝置等使用的燃料煤氣?各種工業(yè)煤氣?工廠空氣的流量管理及各車間的使用量管理等。

質(zhì)量流量檢測

與空氣、煤氣的使用溫度、壓力無關(guān)，可測量換算成標準狀態(tài)下的流量。
（* 標準狀態(tài)下的流量是指在1個大氣壓、0°C（或20°C）時的體積流量。）

寬廣的測量范圍

相對于zui大測量流量的低流量區(qū)域，一般的氣體流量計都難于檢測，通過搭載μF傳感器，可實現(xiàn)寬廣范圍的測量、控制。實現(xiàn)了質(zhì)量流量計CMS的可調(diào)比100：1、大流量質(zhì)量流量計CML的可調(diào)比160：1（測量范圍為1,280：1）的高可調(diào)比！
*適合于空氣及燃氣的使用量的管理、及節(jié)能的漏氣管理。

快速響應(yīng)

傳感器直接與氣體接觸進行檢測，實現(xiàn)了快速響應(yīng)。

低圧損構(gòu)造

μF傳感器設(shè)置在流路的壁面上，所以阻礙流體流動的構(gòu)造體少，具有低壓力損失的特點。zui適合于低圧氣體流量的檢測、控制。

高精度

質(zhì)量流量計采用RD（讀數(shù)）精度規(guī)定，實現(xiàn)了寬廣流量區(qū)域下的高精度檢測。

各種功能

通過控制機器積累的微電腦的技術(shù)，搭載了以前的質(zhì)量流量計沒有的各種功能。 
瞬時／累積流量顯示、煤氣種類切換功能、上下限報警輸出、模擬輸出、累積脈沖輸出、通信功能等?。? 因產(chǎn)品而異）

種類豐富的產(chǎn)品

根據(jù)使用用途，備有從0～500mL/min到0～1600m3/h的寬廣流量區(qū)域的產(chǎn)品。

氣體質(zhì)量流量計 CMS系列

外觀	主要用途								口徑 (B)		流量量程
	工業(yè)氣體的種類管理、試驗研究								1/4 1/2		0.5 L/min ～ 2000 L/min
Gas Types	空氣	氮氣	氧氣	氬氣	二氧化碳	城市煤氣	沼氣	丙烷	丁烷	氫氣	氦氣	笑氣
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空氣管理用儀表 MCF系列

外觀	主要用途								口徑 (B)		流量量程
	壓縮空氣、氮氣的節(jié)能管理								1/4 1/2 1 11/2 2		200 L/min ～ 12000 L/min
Gas Types	空氣	氮氣	氧氣	氬氣	二氧化碳	城市煤氣	沼氣	丙烷	丁烷	氫氣	氦氣	笑氣
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氣體質(zhì)量監(jiān)測計 CMG系列

外觀	主要用途								口徑 (B)		流量量程
	燒嘴空燃比、單位能耗管理								1/2 1 11/2 2		4 m3/h ～ 150 m3/h
Gas Types	空氣	氮氣	氧氣	氬氣	二氧化碳	城市煤氣	沼氣	丙烷	丁烷	氫氣	氦氣	笑氣
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大流量質(zhì)量流量計
CML系列

外觀	主要用途								口徑 (B)		流量量程
	城市煤氣、工業(yè)氣體的單位能耗管理、交易								2 3 4 6		160 m3/h ～ 1600 m3/h
Gas Types	空氣	氮氣	氧氣	氬氣	二氧化碳	城市煤氣	沼氣	丙烷	丁烷	氫氣	氦氣	笑氣
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空氣質(zhì)量流量傳感器 MCS系列

外觀	主要用途								口徑 (B)		流量量程
	吸附檢查								1/8		-0.5 ～ +0.5 L/min 0 ～ 0.5 L/min -3 ～ +3 L/min 0 ～ 3 L/min 0 ～ 5 L/min 0 ～ 10 L/min
Gas Types	空氣	氮氣	氧氣	氬氣	二氧化碳	城市煤氣	沼氣	丙烷	丁烷	氫氣	氦氣	笑氣
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