四川成都重慶西安貴州云南供應(yīng)基恩士 (KEYENCE)VK-X150K 控制器
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產(chǎn)品名稱: 四川成都重慶西安貴州云南供應(yīng)基恩士 (KEYENCE)VK-X150K 控制器
產(chǎn)品型號: VK-X150K
產(chǎn)品展商: 基恩士 (KEYENCE)
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簡單介紹
四川成都重慶西安貴州云南供應(yīng)基恩士 (KEYENCE)VK-X150K 控制器
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的詳細介紹
四川成都重慶西安貴州云南供應(yīng)基恩士 (KEYENCE)VK-X150K 控制器
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型號
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VK-X150K
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綜合倍率
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19200 倍以下*1
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視野 (*小觀察范圍)
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16 μm 至 5400 μm
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幀頻率
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激光測量速度
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4 至120 Hz、7，900 Hz*2
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測量原理
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光學系統(tǒng)
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針孔共聚焦光學系統(tǒng)
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光接收元件
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光電倍增器、16 bit 感應(yīng)
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掃描方式 (常規(guī)測量時及圖像連接時)
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自動上下限設(shè)置功能 高速光量*好化功能(AAG Ⅱ)反射光量不足補充功能(雙掃描)
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高度測量
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顯示分辨率
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5 nm
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線性標尺
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動態(tài)量程 (來自工件的光接收量的適用幅度)
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16 bit
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重復(fù)精度σ
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20 倍 40 nm、50 倍 20 nm、100 倍 20 nm*3
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Z軸測量用內(nèi)存
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140 萬步驟
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準確性
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0.2 + L/100 μm 或更小 (L = 測量長度)*4
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Z 載物臺結(jié)構(gòu)
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結(jié)構(gòu)
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測量頭分離結(jié)構(gòu)
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*大樣品高度
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28 mm, 128 mm (可選件)
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寬度測量
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顯示分辨率
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10 nm
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重復(fù)精度3σ
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20 倍 100 nm、50 倍 50 nm、100 倍 30 nm*3
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準確性
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±2％*5
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XY 載物臺結(jié)構(gòu)
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手動 運行范圍
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70 mm×70 mm
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電動 運行范圍
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50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm*6
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觀察
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觀察圖像
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超高精細彩色CCD 圖像
16 bit 激光彩色共焦點圖像
共焦點+ ND 濾波器光學系統(tǒng)
C- 激光微分干涉圖像
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*大拍攝分析率
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3072×2304
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測量用激光光源
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波長
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紅色半導(dǎo)體激光 658 nm
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*大輸出
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0.95 mW
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激光產(chǎn)品
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2 類激光產(chǎn)品 (GB7247.1)
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重量
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測量部
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約25 kg(分離時測量頭單體: 約8.5 kg)
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控制器部
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約 11 kg
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