型號

VK-X130K

綜合倍率

19200 倍以下^*1

視野 (*小觀察范圍)

16 μm 至 5400 μm

幀頻率

激光測量速度

4 至120 Hz、7，900 Hz^*2

測量原理

光學(xué)系統(tǒng)

針孔共聚焦光學(xué)系統(tǒng)

光接收元件

光電倍增器、16 bit 感應(yīng)

掃描方式 (常規(guī)測量時及圖像連接時)

自動上下限設(shè)置功能 高速光量功能(AAG Ⅱ)反射光量不足補(bǔ)充功能(雙掃描)

高度測量

顯示分辨率

5 nm

線性標(biāo)尺

動態(tài)量程 (來自工件的光接收量的適用幅度)

16 bit

重復(fù)精度σ

20 倍 40 nm、50 倍 20 nm、100 倍 20 nm^*3

Z軸測量用內(nèi)存

140 萬步驟

準(zhǔn)確性

0.2 + L/100 μm 或更小 (L = 測量長度)^*4

Z 載物臺結(jié)構(gòu)

結(jié)構(gòu)

測量頭分離結(jié)構(gòu)

*大樣品高度

28 mm, 128 mm (可選件)

寬度測量

顯示分辨率

10 nm

重復(fù)精度3σ

20 倍 100 nm、50 倍 50 nm、100 倍 30 nm^*3

準(zhǔn)確性

±2％^*5

XY 載物臺結(jié)構(gòu)

手動 運(yùn)行范圍

70 mm×70 mm

電動 運(yùn)行范圍

50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm^*6

觀察

觀察圖像

超高精細(xì)彩色CCD 圖像
16 bit 激光彩色共焦點圖像
共焦點+ ND 濾波器光學(xué)系統(tǒng)
C- 激光微分干涉圖像

*大拍攝分析率

3072×2304

測量用激光光源

波長

紅色半導(dǎo)體激光 658 nm

*大輸出

0.95 mW

激光產(chǎn)品

2 類激光產(chǎn)品 (GB7247.1)

重量

測量部

約25 kg(分離時測量頭單體: 約8.5 kg)

控制器部

約 11 kg