四川成都供應(yīng)日本SIGMA KOKI西格瑪光機(jī)精密（壓電陶瓷）平臺(tái)SFS-60YAW(OP）
產(chǎn)品品牌：西格瑪(SIGMA KOKI )
品牌簡(jiǎn)介：SIGMA KOKI日本西格瑪光機(jī)株式會(huì)社1977年4月創(chuàng)立,SIGMA KOKI日本西格瑪光機(jī)集團(tuán)有6個(gè)研發(fā),生產(chǎn)和銷(xiāo)售據(jù)點(diǎn).同時(shí),還有4個(gè)關(guān)聯(lián)子公司(兩個(gè)在日本,在美國(guó)和中國(guó)各一個(gè)).公司所有部門(mén)都取得了ISO9001:2008和ISO14001:2004 認(rèn)證.
日本西格瑪精密（壓電陶瓷）平臺(tái)SFS-60X(CL)
特征：四川成都供應(yīng)日本SIGMA KOKI西格瑪光機(jī)精密（壓電陶瓷）平臺(tái)SFS-60YAW(OP）
SFS 系列平臺(tái)是我們*新開(kāi)發(fā)的，利用了彈性變形和壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)件的超精密定位平臺(tái)。其中，有部分產(chǎn)品內(nèi)置了位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，可以實(shí)現(xiàn)20nm 的分辨率，90μm 行程，320μm 的手動(dòng)粗調(diào)。
我們采用了無(wú)空行程的金屬?gòu)椥宰冃螜C(jī)構(gòu)，以及5-6 倍的壓電陶瓷變形放大機(jī)構(gòu)。并采用我公司的超精密加工技術(shù)進(jìn)行生產(chǎn)制造。
注意四川成都供應(yīng)日本SIGMA KOKI西格瑪光機(jī)精密（壓電陶瓷）平臺(tái)SFS-60YAW(OP）
所有數(shù)據(jù)的測(cè)量溫度環(huán)境為攝氏20 ± 1 ℃。使用前，請(qǐng)仔細(xì)閱讀使用說(shuō)明書(shū)和安裝說(shuō)明書(shū)。
所有數(shù)據(jù)均為單個(gè)平臺(tái)的數(shù)據(jù)，而非組裝后的復(fù)合體，“復(fù)合”平臺(tái)。
所有數(shù)據(jù)均為許用載荷內(nèi)的值，而且載荷在平臺(tái)中心，無(wú)偏載。
所有數(shù)據(jù)均為在上面板上的值。
行程為開(kāi)環(huán)控制時(shí)的數(shù)據(jù)。
直動(dòng)平臺(tái)的重復(fù)定位精度值是采樣時(shí)間為350μs 時(shí)的閉環(huán)控制時(shí)的值；對(duì)于轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)和擺動(dòng)平臺(tái)，則是開(kāi)環(huán)控制時(shí)的值。
分辨率是使用FINE-01，503 時(shí)的數(shù)據(jù)。
采用FINE 控制器，改善了閉環(huán)控制時(shí)的直線(xiàn)性。
CL：采用位移傳感器的閉環(huán)控制平臺(tái)／ OP：無(wú)位移傳感器的開(kāi)環(huán)控制平臺(tái)
規(guī)格：四川成都供應(yīng)日本SIGMA KOKI西格瑪光機(jī)精密（壓電陶瓷）平臺(tái)SFS-60YAW(OP）
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型號(hào)
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行程（粗調(diào)）
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行程（細(xì)調(diào)）
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自重
[kg]
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承載能力
[N]
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理論分辨率（開(kāi)環(huán)）]
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分辨率（閉環(huán)）
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重復(fù)重復(fù)定位精度
[μm]
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Y軸方向直線(xiàn)度
[μm]
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Z軸方向直線(xiàn)度
[μm]
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SFS-60X(CL)
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320±10% （μm)
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90±10% （μm)
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0.37
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9.8 （1kgf)
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1 （nm
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20 （nm)
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0.1
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1
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0.5
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SFS-60YAW(OP
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57±15% （分)
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900±15% （秒)
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0.31
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9.8 （1kgf)
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0.01 （秒)
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－
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－
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－
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－
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SFS-60RP(OP)
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25±15% （分)
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215±15% （秒)
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0.38
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9.8 （1kgf)
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0.005 （秒)
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－
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－
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－
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－
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四川成都供應(yīng)日本SIGMA KOKI西格瑪光機(jī)精密（壓電陶瓷）平臺(tái)SFS-60YAW(OP）
